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闲话芯情
孜孜不倦科研报国 润物无声培育人才—专访中国科学院院士邹世昌先生
出自:杨菲 华虹宏力

朝夕变换间,沪城青草深。蓦然间,已至盛夏。

人们习惯于低?#35775;?#30860;,很多时候忘记春夏秋冬,却在偶然闲暇的片刻,嗅到那一缕香气,暂停下匆忙的脚步,细细品味,不负时光不负好时节。
邹世昌先生就是一个忙碌的人,时间于他而言,更多的是光与影的默默前移。上世纪60年代,他参与团队攻坚克难,成为我国核工业发展的铺路人之一;70年代初,转身投入半导体研究领域,将离子注入技术应用于半导体集成电路,成为我国离子束领域的奠基人;90年代后,从科研转向产业,参与集成电路产业建设,风雨兼程廿余载助力“中国芯”腾飞;如今这位德高望重的老前辈、老导师,仍是华虹宏力和中国科学院微系统所联合培养博士研究生项目的积极推动者,做科普、建院士专家工作站、当企业科协顾问,孜孜不倦地为“中国芯”培养年轻人才……学生和晚辈,习惯以“邹先生”亲切地称呼他。
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邹世昌,中国科学院院士,材料学家,上海市集成电路行业协会名誉会长,曾任原华虹NEC副董事长、原宏力半导体董事长,现为上海华虹宏力半导体制造有限公司科学顾问。
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学有所成报效国家
邹先生出生在炮火纷飞的战争年代,生活经历比较艰苦。幼年时候几度被迫举家搬迁,读书的时候在学校都能听到飞机的轰炸声。1949年,他从格致中学毕业后,考上上海的中国纺织工学院——东华大学的前身,不久新中国诞生,他开始考虑将学习方向转为国家需要的行业——重工业相关领域,转学到唐山交通大学,也就是现在的西南交大,在那里?#25237;?#20918;金工程专业。
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50年代留苏
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1952年大学毕业后,邹先生进入中国科学院上海冶金研究所,开始了科研生涯。国家通过考试选拔人才去苏联留学, 他?#34892;?#32771;上,于是在1953年到苏联莫斯科有色金属学院留学深造,并于1958年获?#36744;?#22763;学位,然后回到了中国科学院上海微系统与信息技术研究所(原名中国科学院上海冶金研究所),用自?#26680;?#23398;报效国家。
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上世纪60年代,苏联与中国关系恶化,撤销了对中国的援助计划,并撤回全部技术专家,直接影响到了我国原子弹制造相关技术项目的进行。其中关键之一就是我们不会制造分离铀235的分离膜元件。当时只有美国、英国、苏联掌握制造分离膜的技术,但均被列为重点国防机密。苏联还把这种分离膜称为“社会主义阵营安全的心脏”。
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在这种情况下,毛主席、周总理等国家领导人决定自力更生,当时就想到了中国科学院上海冶金研究所。鉴于任务重大又紧迫,1961年,有关科研人员和设备被集中到上海冶金所联合攻关,副所长吴自?#25216;嬡问?#20027;任,下设三个大组。其中邹先生领导的第二大组负责分离元件制造工艺的研究。
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在党委和吴自良院士领导下,全室人员日以继夜奋斗,进行粉末成?#20572;?#21387;力加工,热处理,表面处理?#28982;?#33410;的研究。当时我国能生产供应的焊头材料性能达不到分离膜焊接工艺的要求,邹先生在当研究生时研究出的一种高强度、高电导、热稳定铜合金新材料,将这一材料加工成焊接电极,使用效果良好,铲平了一个技术?#20064;?br /> ?
1964年,符合要求的分离膜元件终于研制成功。试?#23186;?#26524;表明,性能超过了苏联的元件,使中国成为世界?#31995;?#22235;个独立掌握浓缩铀生产技术的国家,为我国的核工业发展做出了重要?#27605;住?984年,这项技术被授予国家创造发明一等奖。?
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建设半导体产业任重道远
邹先生在八十年代开始转向半导体研究领域,研究离子束与固体材料的相互作用并应用于材料的掺杂、改性、合成与分析,在国内首先建立了离子?#25104;?#23556;沟道技术,1985年创建了中国科学院离子束开放研究实验室。
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80年代于美国,邹院士与世界离子注入技术?#35789;?#20154;Mayer教授合影

世界上集成电路诞生于六十年代初,我国在1965年也开始研发集成电路了,但受限于国内局?#39057;?#22240;素,始终形不成规模,在世界上处于落后的地位。
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直到80年代末,国家下决心发展半导体集成电路产业,成立了华虹集团启动了“909工程”。1997年,邹先生从研究所所长岗位退下?#35789;保?#27427;然接受委任,参与华虹集团旗下华虹NEC公司的组建工作以及后来宏力半导体公司的建设,为国家集成电路产业建设做出新的?#27605;住?br /> ?
这两个晶圆厂投资都达到100亿人民币之巨,但工程起步十分艰难。宏力半导体就经历了“八年抗战?#20445;?#20154;才要?#24515;跡?#25216;术要研发,设备要折旧,需要大量资金的支撑,在市政府领导的支持下公司才渡过难关坚?#33267;?#19979;来。半导体业本身就是一个前期投入比较大的产业,等技术慢慢过关,市场逐步打开,才会实现盈利,这是惯例。
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2013年,两家公司合并为上海华虹宏力半导体制造有限公司(华虹宏力),共有三座8英寸晶圆厂,成为中国大陆最大的8英寸纯晶圆代工企业。2018年公司销售额9.3亿美元,年净利润1.86亿美元,均再创历史新高,截至2019年第一季度,已连续33个季度盈利。公司员工都很高兴,说明在中国?#23601;?#33258;主发展集成电路产业这条路终于走通了。
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本世纪初邹先生担任上海市集成电路行业协会会长,当时我国集成电路产品是自供率不超过20%,80%以上依?#21040;?#21475;。十多年过去了,现在中国半导体产业规模已经增长到近3000亿美元,全球半导体市场容量也扩大到4000亿美元,但是我国自供比例?#36127;?#27809;变,仍然有80%集成电路要依靠进口。前一阵闹得沸沸扬扬的“中兴事件?#20445;?#26681;本原因之一就是核心技术掌握在别人手里。
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现在很多中?#25237;?#38598;成电路产品我们自己能生产了,但跟国外的差距还有两到三代,我们应该正视这种差距,并慢慢向高端升级。发展半导体行业没有捷径可走,我们只能一步一个脚印向前发展,尽量少走弯路。为了改变研究所验?#19994;?#30740;究成果往往脱离生产?#23548;剩?#19981;少研究成果发表后难以应用于?#23548;?#29983;产的状况,华虹宏力从本世纪初开始就把学生放到公司生产线上试探产学研结合培养博士研究生的新路。?
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培养下一代半导体人才
问邹先生为什么到现在这个年纪还在工作,他觉得为人不能忘本,如果不是国家培养就没有自己的进步和成长,一定要尽全力报效国家。同时科学研究早已经成为他生活的一部?#33267;耍?#24037;作中还可?#38498;?#29616;在的年轻人进行交流,获取新?#25163;?#35782;,保持工作节奏和大脑思维能力。

随着年龄的推移,邹先生就把工作逐步转?#39057;?#22521;养年轻人的工作上,他认为一个产业是否强大,关键就看人才队伍素质和能力。
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只要有资金,厂?#38752;?#20197;造,设备可以买,但是人才难求,只有靠自己培养,但培养人需要时间,现在国内自己培养出来的学生能够只能满足需求百分之十几。为改变这一点,在华虹宏力公司建立了产学研平台,培养博士研究生和博士后研究人员,让学生在生产线上密切结合生产需求解决?#23548;?#38382;题,学成后马?#22799;?#29420;立工作,院士专家工作站建成后,已经通过这种方式培养了30个博士,2名博士后出站。
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邹先生又提出把微系统研究所的研究工作和企业工艺线通过联合培养博士生实现“产学研?#27604;?#32467;合,通过工艺开发,器件建模,建立标准单元库开发验证电路。
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除了培养专业人才,邹先生还积极做科学普及工作。半导体集成电路这个行业的建设需要靠几代人去努力,“从娃娃抓起”很有必要。2017年上海广播电视台组织8名中国科学院院士给中学生进行科普讲座,分给他的题目是“集成电路探秘”。节目播出后,反响热烈,广播电台建议整理出书,邹先生就将相关内容整理出来,形成《芯片世界——集成电路探秘》这本小书,希望能吸引更多年轻人对集成电路行业产生的关注和兴趣,成为我国集成电路产业的生力军。

邹先生相信中国的集成电路产业总有一天将进入世界前?#26657;?#24182;希望这一天尽快来到。
 

 

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文章收入时间: 2019-07-26
 
 
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